1 總則
通過對
真空泵正確地日常維護，周期保養和維修，確保設備正常、安全、可靠、經濟運行，保證工藝要求、生產出合格產品。 2 各類泵的技術性能
2.1 機械增壓泵──羅茨泵 2.2 滑閥泵 2.3 復合分子泵 3 結構簡述
3.1 ZJP型羅茨泵
該型泵是一種容積式
真空泵，帶溢流閥，它是利用一對8 子形轉子在泵殼中保持一定的間隙作等速反向旋轉而產生吸氣和排氣作用的，且進排氣口連通，在通道上垂直地裝置著一個自重閥，其作用是當排氣口和進氣口的壓力差和閥的有效作用面積的乘積超過閥頭的自重時，閥頭就會自動頂開閥座，使排氣口和進氣口的壓力差始終保持在一個可控制的數值內。 兩個轉子被支承在泵殼側面端蓋的滾動軸承中，依靠一對可調的同步齒輪使二個轉子在高速旋轉時始終保持著一定的相互位置，而轉子與端蓋之間的端面間隙是靠固定端軸承座下面的可調金屬墊片來保證，使泵在工作時因受熱而轉子只能向一面膨脹。 端蓋內的四組內軸封是為了防止兩側潤滑油進入泵殼，出軸處油封是為了防止氣體漏入泵體內。
該型泵采用臥式結構，采用聯軸器與電機直聯，動力由聯軸器傳給主動軸，再通過同步齒輪傳動從動軸。 3.2 滑閥泵
該型泵主要由泵體、滑閥、滑閥導軌、偏心輪、帶輪等零件組成。上部設有六組圓盤形排氣閥。
排氣閥主要由彈簧和被彈簧壓緊的閥片等零件組成。當泵內氣體和油，從排氣閥排出時，經過化霧器，然后由方油箱內的油氣分離器進行油氣分離，氣體排**大氣，油經過濾油口過濾，然后通過壓差由固定隔板、滑閥隔板的油孔輸送**偏心輪，滑閥、泵腔等活動部分，隨著泵的運轉，被壓縮的氣體和油又由排氣閥排出，因此本型泵的潤滑均是自動進行。泵的轉動部分及進氣的結合面采用橡膠密封，泵體與泵蓋紙墊用描圖紙或青殼紙。 3.3 復合分子泵
復合分子泵它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯組合起來的一種復合型的分子
真空泵 4 運行中的注意事項
4.1 運行中必須嚴格按照各類泵的技術規格使用，泵不允許長時間超過允許**高入口壓力情況下工作。
4.2 注意電動機負荷和泵的各部位溫升情況。在正常情況下，泵的**高溫升不得超過40℃，**高溫度不得超過80℃。
4.3 運轉中不應有不規則的異常振動。 4.4 如發現在運轉中有電機過載，溫升過高，聲音異常，振動大等情況應立即停機檢查原因，排除故障。 5 維護保養 5.1 定期檢查
5.1.1 每日檢查
a 油位檢查：機械泵油位由運行工每班巡檢，維修工每日巡視一次，復合分子泵油位由維修工每日巡視一次。
b 溫度檢查：運行工每班手感檢查。 c 電動機負荷檢查：運行工每班檢查。 d 保持泵房及泵的清潔、干燥。 5.1.2 每月檢查
a 聯軸器及墊片是否損壞和松動，皮帶的松緊地腳螺絲是否松動。 b 復合分子泵法蘭連接口螺絲是否松動，水冷卻流量是否正常。 5.1.3 每三個月檢查
a 潤滑油是否變質或結碳，放清泵內原油，清洗泵體、清除污垢更換新油。 b 清洗滑閥泵濾油器中的銅絲網，確保油泵供油正常。 c 復合分子泵油質。
5.1.4 每六個月檢查：油封、密封件是否損壞。 5.1.5 每一年檢查
a 羅次泵軸承是否磨損
b 羅茨泵活塞環及活塞環襯套是否磨損。
c 羅茨泵齒輪微量程度的磨損對轉子正常運轉是否產生影響，是否需要調整。 d 滑閥泵的閥片。
e 復合分子泵濾網清洗，更換新潤滑油；羅茨泵、滑閥泵清洗。 f 檢查冷卻水路是否暢通。
5.1.6 新泵工作150小時后換油一次，以后油一般3～6個月換一次。 5.2 拆裝
5.2.1 羅次泵進行拆卸和重新裝配時，須根據以下注意事項進行： a 未拆卸前，先測量并記錄轉子各部分間隙。
b 盡量避免用重錘敲打，拆下的零件不得碰傷，要妥善保管好。 c 將需要更換的零部件的更換原因及使用情況詳細記錄下來。 d 重新裝配前須把各零部件清潔干凈，毛刺修光。 e 無密封墊襯或密封圈的靜密封面用漢高樂泰“515”（510）厭氧密封膠涂抹， 用于靜密封的橡膠密封件需涂上真空考克脂，溢流閥上的密封圈及平面上不得涂任何油脂。 f 根據間隙一覽表調整轉子各部分間隙。
e 滑閥及滑閥導軌組件。 f 偏心輪、平鍵及軸。 5.2.2.2 排氣閥拆卸程序 a 方油箱組件 b 罩式化霧器 c 彈簧及主閥體 d 導管 e 排氣閥片
裝配時則次序相反。 5.2.2.3 注意事項
a 不能直接用榔頭敲打加工面（密封面）。 b 裝入時要仔細清洗零件。 c 注意密封面不能漏氣及漏油。 5.2.3 復合分子泵
5.2.3.1復合分子泵清潔步驟 a 關斷電源并切斷電源插頭。 b 關斷水管并卸下冷卻水管。 c 拆下入口法蘭和前級連結螺絲。
d 清理泵口防護網罩內雜物，嚴禁有異物從泵口掉入。 e 疏通并清除冷卻水管內的水垢，保持冷卻水流量充作。
f 拆下泵底儲油杯，倒出陳油，清洗油杯更換新油，檢查油杯口密封圈良好后安裝上油杯，確保密封口不能漏油漏氣。 6 故障原因及其消除方法 6.1 羅茨泵
